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輝光離子氮化是利用輝光放電原理進行的。輝光放電是當(dāng)氣體越過電暈放電區(qū)后,若減小外電路電阻,或提高全電路電壓,繼續(xù)增加放電功率,放電電流將不斷上升。同時輝光逐漸擴展到兩電極之間的整個放電空間,發(fā)光也越來越明亮。當(dāng)電子能f提高,也就是增強電場的操作參數(shù),則能使電暈放電過渡到輝光放電。

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