離子滲氮爐由爐體、電源控制系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、測溫及控制系統(tǒng)、真空獲得系統(tǒng)等部分組成。

離子滲氮時，工件放在爐內(nèi)的陰極盤上，接上電源抽真空到6Pa左右時，充入氨氣，由于爐內(nèi)壓力低再加上加熱作用，氨氣在爐內(nèi)將分解成N2和H2左右時，之后在陰極（工件）和陽極（爐體）之間加上高壓直流電，此時電場內(nèi)的原子和分子被激發(fā)，進而出現(xiàn)輝光放電現(xiàn)象，就是你看到的紫色的由來！

爐內(nèi)的低壓氣體在高壓電場的作用下發(fā)生電離，電離成帶正電荷的N+、H+離子和帶負(fù)電荷的電子e，正離子在高壓電場下以極高的速度轟擊陰極（工件）表面，并在工件表面發(fā)生一系列的物理化學(xué)現(xiàn)象，形成滲氮層。

離子滲氮的優(yōu)點很多，比如滲氮速度快、熱效率高，另外，與氣體滲氮比，滲層脆性小、滲層致密，具有更高的耐磨性、耐蝕性和抗疲勞性能。